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來源：快科技 據(jù)媒體報道，佳能高管在接受采訪時表示，納米壓印技術甚至可以生產(chǎn)電路線寬為2納米的產(chǎn)品，并且該業(yè)務在全球只有佳能才有。 佳能半導體機器業(yè)務部長巖本和德稱，納米壓印就是把刻有半導體電路圖的掩膜壓印到晶圓上，壓印1次就可以形成電路，如果改進掩膜，甚至可以生產(chǎn)電路線寬為2納米的產(chǎn)品。 客戶的實際成本可以降至傳統(tǒng)光刻設備的一半，而且由于納米壓印設備的規(guī)模減小，在研發(fā)等用途上也更方便引進。 當被問及納米壓印光刻設備是否有其他競爭公司時，巖本和德表示，面向半導體光刻，開展納米壓印設備業(yè)務的在全世界只有我們公司，準入門檻很高。 從2017年左右開始，佳能就與鎧俠和大日本印刷3家持續(xù)進行合作開發(fā)，“目前量產(chǎn)用途的實用化已有眉目，我認為可以面向客戶銷售。” 同時其還表示佳能已收到了半導體廠商、大學、研究所的很多咨詢，“由于引進EUV光刻設備需要龐大成本，作為替代措施的納米壓印備就備受期待�！� |
