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直接將ACS安裝至4200-SCS的嵌入式PC中能讓功能強大 的ACS集成測試系統(tǒng)兼有兩者優(yōu)點。小尺寸但功能強大的 4200-SCS測量硬件結(jié)合了ACS軟件的全自動化特性，能在極小的封裝中實現(xiàn)令人印象深刻的測試功能和自動化。使用案例非常廣并且包括： • 技術開發(fā)：當技術開發(fā)工程師需要進行各種過程分割時， 用以確定過程的操作困境并從每片晶圓和多片晶圓的測 試結(jié)構(gòu)中獲取參數(shù)數(shù)據(jù)。 • 參數(shù)功能測試：當需要在多片晶圓上的多個器件上進行 無人干預的參數(shù)測試但高吞吐量相對于測試成本和易用 性而言是次要時。 • 定制建模工具：當建模工具需要很多種器件的參數(shù)測量 結(jié)果，然后將結(jié)果移植至建模軟件，進行分析并建立器 件軟件模型時。 ACS能完全訪問和控制4200-SCS上的最新脈沖和PIV軟 /硬件，包括吉時利開發(fā)（和獲專利權(quán)）的軟件，例如4200 -PIV-A包。這能讓系統(tǒng)執(zhí)行全量程直流、CV和脈沖源和測 量。此外，為擴展測試方案功能并滿足測試需要，此系統(tǒng)可以輕松地增配由ACS軟件控制的CV儀表、開關矩陣或其 它外部硬件。 精密實驗室設備和全自動功能降低測試成本 在成本較低的臺式測試儀（但具有業(yè)內(nèi)領先的測試和測量能力）中加入重要的自動化功能便能明顯降低測試成本。ACS系統(tǒng)非常適于 能產(chǎn)生大量數(shù)據(jù)的應用，但不是對吞吐量敏感應用，例如大容量最終測試。通過直觀的設置和操作簡化操作人員的任務，并且最小化 測試過程的人工干預還能顯著降低測試成本。最小配置如圖1所示。 
圖1. 4200-SCS運行ACS軟件和自動探測器便足以執(zhí)行多種直流和脈沖參數(shù) 自動化測試 結(jié)論 面市時間延長和測試成本壓力增大意味著測試工程師必須用更 少的投入做更多的事。利用吉時利久經(jīng)驗證的儀器和測量，ACS集 成測試系統(tǒng)填補了基于交互式實驗室工具與高吞吐量生產(chǎn)測試工具 之間的空白。 在這種情況下，讓ACS運行在4200-SCS半導體特性分析系統(tǒng)中是 將實驗室級參數(shù)測量提升至更高級的自動化并降低測試成本的一種理想方法。運行高質(zhì)量自動測試的小尺寸集成測試儀器能幫測試工 程師在測試過程中以最短設置時間和最少人工干預完成大量的測試 和數(shù)據(jù)——采用非常經(jīng)濟有效的封裝。強大、靈活的分析、演示和 報告工具簡化了測試后續(xù)工作。 想與吉時利測試測量專家互動？想有更多學習資源？可登錄吉時利官方網(wǎng)站http://www.keithley.com.cn/ |
