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近日，由浙江大學(xué)與余杭量子研究院聯(lián)合研發(fā)的全國(guó)首臺(tái)國(guó)產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機(jī)"羲之"在杭州城西科創(chuàng)大走廊正式進(jìn)入應(yīng)用測(cè)試階段，標(biāo)志著我國(guó)在納米級(jí)精密加工裝備領(lǐng)域取得重大突破。這臺(tái)被譽(yù)為"量子芯片中國(guó)刻刀"的高端設(shè)備，憑借0.6納米的超高分辨率和8納米線寬加工能力，成功打破國(guó)際技術(shù)壟斷，為量子計(jì)算、新型半導(dǎo)體等前沿領(lǐng)域提供了自主可控的工藝平臺(tái)。 "羲之"電子束光刻機(jī)采用直寫式曝光技術(shù)，通過(guò)高能電子束直接在硅基材料上"書寫"電路圖案，無(wú)需傳統(tǒng)光刻必需的掩膜版，特別適用于量子芯片超導(dǎo)電路、碳基二維材料器件等研發(fā)初期的設(shè)計(jì)驗(yàn)證與反復(fù)調(diào)試。測(cè)試現(xiàn)場(chǎng)數(shù)據(jù)顯示，該設(shè)備在浙江大學(xué)余杭量子研究院運(yùn)行穩(wěn)定，其加工精度達(dá)到國(guó)際主流設(shè)備水平，但成本顯著降低，已吸引包括華為海思在內(nèi)的多家企業(yè)和科研機(jī)構(gòu)接洽合作。 作為浙江省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室孵化項(xiàng)目，"羲之"的成功研制是科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新深度融合的典范。依托浙江大學(xué)在電子光學(xué)、精密控制等領(lǐng)域的長(zhǎng)期積累，余杭量子研究院整合高校、地方科研機(jī)構(gòu)與產(chǎn)業(yè)鏈資源，構(gòu)建了從基礎(chǔ)研究到工程應(yīng)用的全鏈條創(chuàng)新體系。該設(shè)備不僅攻克了電子光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、高精度束斑控制等核心技術(shù)難題，更帶動(dòng)國(guó)內(nèi)數(shù)十家配套企業(yè)在關(guān)鍵零部件、控制系統(tǒng)等領(lǐng)域協(xié)同突破，為構(gòu)建自主可控的半導(dǎo)體裝備供應(yīng)鏈奠定基礎(chǔ)。 值得關(guān)注的是，此前全球高端電子束光刻設(shè)備市場(chǎng)長(zhǎng)期被荷蘭、日本和美國(guó)企業(yè)主導(dǎo)，部分型號(hào)受出口管制限制，我國(guó)科研機(jī)構(gòu)獲取先進(jìn)設(shè)備面臨諸多制約。"羲之"的誕生徹底扭轉(zhuǎn)這一局面——其定價(jià)低于國(guó)際均價(jià)，且完全適配量子器件、新型半導(dǎo)體材料等前沿領(lǐng)域的特殊工藝需求。研發(fā)團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人形象比喻："就像用納米級(jí)毛筆在芯片上作畫，我們既保留了傳統(tǒng)電子束光刻的靈活性，又通過(guò)工程化創(chuàng)新大幅提升了設(shè)備的穩(wěn)定性和易用性。" 業(yè)內(nèi)專家指出，"羲之"的推廣應(yīng)用將加速我國(guó)在量子信息科技、高端傳感器等戰(zhàn)略領(lǐng)域的創(chuàng)新步伐。作為連接實(shí)驗(yàn)室研究與產(chǎn)業(yè)化的關(guān)鍵裝備，該設(shè)備不僅支撐大科學(xué)裝置原型驗(yàn)證，更能通過(guò)小批量定制化生產(chǎn)推動(dòng)技術(shù)成果快速轉(zhuǎn)化。隨著后續(xù)工藝優(yōu)化和產(chǎn)能提升，這臺(tái)"納米神筆"有望在更多科研院所和企業(yè)落地，為我國(guó)突破高端芯片制造瓶頸、實(shí)現(xiàn)科技自立自強(qiáng)提供硬核支撐。 |
