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來源：TechWeb 據(jù)外媒報(bào)道，在三星電子嘗試重構(gòu)EUV光刻膠供應(yīng)鏈的推動(dòng)下，東進(jìn)世美肯所研發(fā)的極紫外光刻膠，已在去年年底被用于他們的一條量產(chǎn)工藝線。 而相關(guān)媒體最新的報(bào)道顯示，所研發(fā)的極紫外光刻膠已進(jìn)入三星電子量產(chǎn)線的東進(jìn)世美肯，也在準(zhǔn)備為下一代的極紫外光刻機(jī)，也就是高數(shù)值孔徑的極紫外光刻機(jī)（high-NA EUV）研發(fā)光刻膠。 相關(guān)媒體在報(bào)道中表示，東進(jìn)世美肯研發(fā)高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)投產(chǎn)后所需的光刻膠，是為了滿足阿斯麥這一類極紫外光刻機(jī)大量投產(chǎn)之后的需求。 阿斯麥高數(shù)值孔徑的極紫外光刻機(jī)，是他們?cè)谕瞥鯰WINSCAN NXE:3400C、TWINSCAN NXE:3600D等多個(gè)型號(hào)的極紫外光刻機(jī)之后，所研發(fā)的新一代產(chǎn)品，將沿用EXE系列的命名，已有TWINSCAN EXE:5000和TWINSCAN EXE:5200兩個(gè)型號(hào)。 阿斯麥高數(shù)值孔徑的極紫外光刻機(jī)，數(shù)值孔徑將由0.33增至0.55，用于2nm及以下的制程工藝，首臺(tái)交由客戶用于制程工藝研發(fā)的產(chǎn)品，計(jì)劃在今年年底出貨，用于大規(guī)模生產(chǎn)的，預(yù)計(jì)2025年開始在客戶的工廠全面投入運(yùn)營(yíng)。 |
