一周前我們曾報道過臺灣華亞公司向著名光刻機廠商ASML下達了一份金額為2320萬美元的設(shè)備訂單的消息,而最近有消息稱華亞又向這家光刻機廠商追加下達了一份價值為7460萬美元的設(shè)備訂單.
按照ASML公司現(xiàn)有的光刻設(shè)備定價來估算,這次華亞很可能訂購了三臺ASML生產(chǎn)的ArF光源(193nm波長)液浸式光刻機,或者訂購的可能是多臺KrF光源(248nm波長)干式光刻機. 這兩輪光刻機采購行為顯示華亞正在積極拓展其芯片廠的產(chǎn)能.
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