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來(lái)源：中國(guó)電子報(bào) 中小MEMS企業(yè)創(chuàng)新面臨產(chǎn)品中試?yán)Ь�，制約了我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展。日前中國(guó)—新加坡蘇州工業(yè)園區(qū)舉辦了一場(chǎng)具有特別意義的MEMS傳感器產(chǎn)品交付會(huì)，蘇州納米科技發(fā)展有限公司將6英寸微納機(jī)電制造(MEMS)中試線的首個(gè)產(chǎn)品正式交付客戶。這也意味著國(guó)內(nèi)首條全開(kāi)放、市場(chǎng)化運(yùn)作的6英寸微納機(jī)電制造(MEMS)中試線正式運(yùn)營(yíng)，該中試線的投用將為我國(guó)中小MEMS企業(yè)的發(fā)展帶來(lái)福音。 據(jù)了解，蘇州6英寸微納機(jī)電制造(MEMS)中試線，由蘇州納米科技發(fā)展有限公司建設(shè)，超凈場(chǎng)地、廠務(wù)配套設(shè)施、研發(fā)實(shí)驗(yàn)室、公共服務(wù)等場(chǎng)地共16000平方米，其中超凈工藝場(chǎng)地5200平方米，該中試線是江蘇省“十二五”重大科技平臺(tái)項(xiàng)目，也得到了工信部“工業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)服務(wù)平臺(tái)項(xiàng)目”支持。 6英寸微納機(jī)電制造(MEMS)中試線的推動(dòng)者、蘇州納米科技發(fā)展有限公司負(fù)責(zé)人、蘇州市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)秘書長(zhǎng)張希軍一直積極推動(dòng)中試線建設(shè)，他對(duì)MEMS中試線的產(chǎn)業(yè)意義有更深層次的思考，認(rèn)為中試線不僅是中小企業(yè)的創(chuàng)新平臺(tái)，更彌補(bǔ)了中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新鏈的空白。 “我國(guó)中小MEMS企業(yè)發(fā)展面臨很多困難，其中一個(gè)關(guān)鍵的難題是產(chǎn)品的工程化與中試生產(chǎn)，規(guī)模代工廠門檻較高，高校院所的實(shí)驗(yàn)室工程化能力較弱或開(kāi)放度不夠，產(chǎn)品的工程化中試已成為影響中小MEMS企業(yè)規(guī)�；砷L(zhǎng)的瓶頸�！睆埾＼姼嬖V記者。 智恒(廈門)微電子有限公司總經(jīng)理鄭政也表達(dá)了類似的看法，“MEMS領(lǐng)域的Fab(代工廠)和大的封裝廠費(fèi)用門檻較高，小公司往往很難承受”。鄭政是2012年國(guó)家千人計(jì)劃專家，長(zhǎng)期從事基于MEMS和集成電路的智能傳感器的研究、開(kāi)發(fā)及產(chǎn)業(yè)化工作。 張希軍的“瓶頸說(shuō)”形象地揭示了我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域中小企業(yè)的生存現(xiàn)狀。由于我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新鏈不完善，缺乏工業(yè)級(jí)中試線的支撐，科研團(tuán)隊(duì)在研發(fā)做出樣品后又無(wú)法直接進(jìn)入代工廠，難以實(shí)現(xiàn)漸進(jìn)式的規(guī)�；砷L(zhǎng)。 據(jù)了解，蘇州6英寸微納機(jī)電制造(MEMS)中試線采用市場(chǎng)化、全開(kāi)放的運(yùn)作模式，主要開(kāi)展MEMS產(chǎn)品工藝研發(fā)、MEMS加工、部分封裝測(cè)試、專利運(yùn)營(yíng)、設(shè)備租賃、超凈場(chǎng)地租賃、工藝技術(shù)培訓(xùn)等十多項(xiàng)專業(yè)服務(wù)，目前已成功導(dǎo)入壓力傳感器、微鏡傳感器、微流體傳感器等產(chǎn)品，產(chǎn)品樣品測(cè)試結(jié)果良好，基本具備了MEMS芯片的開(kāi)發(fā)加工能力。 “我們的中試線，與科研機(jī)構(gòu)的概念驗(yàn)證、單步工藝能力不同，主要開(kāi)展中試和小批量生產(chǎn)業(yè)務(wù)，前端與產(chǎn)品樣品銜接，后端與規(guī)模代工廠銜接，是一個(gè)完全工業(yè)級(jí)別的中試線，不僅可以幫助中小企業(yè)創(chuàng)新，還可以促進(jìn)他們規(guī)模化發(fā)展�！碧K州6英寸微納機(jī)電制造(MEMS)中試線運(yùn)營(yíng)總監(jiān)游家杰告訴記者。 當(dāng)前，我國(guó)正處在MEMS產(chǎn)業(yè)格局形成、產(chǎn)業(yè)化加速發(fā)展的時(shí)期，產(chǎn)業(yè)資源集中分布在研發(fā)起步早、研發(fā)資源豐富、掌握技術(shù)前沿的環(huán)渤海灣(北京、天津、石家莊)地區(qū)，產(chǎn)品企業(yè)集聚、產(chǎn)業(yè)鏈健全、商業(yè)化環(huán)境優(yōu)良的長(zhǎng)三角(上海、蘇州、無(wú)錫)地區(qū)，市場(chǎng)驅(qū)動(dòng)靈活、集成制造能力強(qiáng)的珠三角(深圳)地區(qū)。 從全國(guó)范圍看，江蘇MEMS產(chǎn)業(yè)資源集聚度最高，正成為國(guó)內(nèi)MEMS創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化最具吸引力的區(qū)域，MEMS產(chǎn)業(yè)資源主要集聚在南京、無(wú)錫、蘇州三個(gè)城市。蘇州在MEMS產(chǎn)業(yè)布局多年，目前形成了MEMS傳感器的芯片設(shè)計(jì)、研發(fā)、中試、封裝測(cè)試的全覆蓋的產(chǎn)業(yè)特色，涌現(xiàn)了晶方半導(dǎo)體、敏芯、明皜等一批業(yè)界知名公司。 “發(fā)展MEMS產(chǎn)業(yè)，既要看清楚我們的優(yōu)勢(shì)，又要找準(zhǔn)自身的不足。6英寸微納機(jī)電制造(MEMS)中試線只是蘇州MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的新起點(diǎn)，要構(gòu)筑MEMS產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈，我們還需要全國(guó)的產(chǎn)業(yè)資源，來(lái)突破資源限制、人才限制、技術(shù)限制。”張希軍長(zhǎng)期擔(dān)任蘇州市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)秘書長(zhǎng)，和半導(dǎo)體企業(yè)打了多年交道，對(duì)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心要素有比較深地了解。 據(jù)了解，蘇州納米科技發(fā)展有限公司與東南大學(xué)MEMS教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任、國(guó)家“863”計(jì)劃MEMS重大專項(xiàng)總體組專家黃慶安教授合作，開(kāi)展對(duì)全國(guó)MEMS資源的梳理，希望全面了解國(guó)內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀。黃慶安教授認(rèn)為，智慧終端、物聯(lián)網(wǎng)、智慧醫(yī)療等產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，帶動(dòng)了MEMS傳感器的市場(chǎng)需求，未來(lái)將成為MEMS應(yīng)用的重要領(lǐng)域。 |
