近幾十年以來(lái)，電氣傳感器一直作為測(cè)量物理與機(jī)械現(xiàn)象的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備發(fā)揮著它的作用。盡管它們?cè)跍y(cè)試測(cè)量中無(wú)處不在，但作為電氣化的設(shè)備，他們有著與生俱來(lái)的缺陷，例如信號(hào)傳輸過(guò)程中的損耗，容易 ...
近年來(lái)射頻微電子系統(tǒng)(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到廣泛關(guān)注，特別是MEMS開關(guān)構(gòu)建的移相器與天線，是實(shí)現(xiàn)上萬(wàn)單元相控陣?yán)走_(dá)的關(guān)鍵技術(shù)，在軍事上有重要意義。在通信領(lǐng)域上亦憑借超低 ...
物體在運(yùn)動(dòng)中的傾角是描述物體運(yùn)動(dòng)狀態(tài)、特征的重要參數(shù)，在交通、航天、軍事領(lǐng)域中都有著重要的意義，對(duì)目標(biāo)的定位、追蹤起到非常重要的作用。所以開發(fā)價(jià)格適中、精度高，測(cè)量范圍大的角度測(cè)量 ...
所有類型的傳感器在過(guò)去幾年中都有了很大發(fā)展，而且與之前的產(chǎn)品相比，更加精確也更穩(wěn)定。有的時(shí)候，這些傳感器使用起來(lái)并不簡(jiǎn)單。面向這些傳感器的調(diào)節(jié)電路設(shè)計(jì)師，經(jīng)常發(fā)現(xiàn)此類電路的開發(fā)多少 ...
Benedetto Vigna，意法半導(dǎo)體
意法半導(dǎo)體公司推出一系列慣性傳感器，極具誘惑力的價(jià)格配合卓越的產(chǎn)品性能，讓意法半導(dǎo)體迅速擴(kuò)大了在消費(fèi)電子MEMS傳感器市場(chǎng)的份額。公司在MEMS技術(shù)特性上實(shí) ...
近陣子由于iPhone 4走紅，許多媒體紛紛宣揚(yáng)iPhone將引爆傳感器題材商機(jī)，在報(bào)導(dǎo)描述中也用上了熱門的技術(shù)名詞：微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS），期望使題材能更熱。
文章用上MEMS傳感器的稱呼，使許多 ...
雖然MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)被用于安全氣囊和汽車壓力傳感器領(lǐng)域已有二十年左右，但卻是任天堂Wii和蘋果iPhone的熱銷使人們更廣泛地了解慣性傳感器的用途，這些產(chǎn)品使用了基于運(yùn)動(dòng)感測(cè)技術(shù)的 ...
1 引言
相干布居俘獲CPT(Coherent Population Trapping)是原子與相干光相互作用所產(chǎn)生的一種量子干涉現(xiàn)象。利用高分辨CPT光譜研制出的被動(dòng)型CPT原子頻標(biāo)具有體積小、功耗低、啟動(dòng)快等特點(diǎn)。 ...
高速發(fā)展的電子及其制造技術(shù)使微機(jī)電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical-SySTems ，MEMS）迅速普及。其實(shí)基于MEMS技術(shù)的加速度傳感器、壓力傳感器、陀螺儀等已經(jīng)有30余年的應(yīng)用歷史，但由于技術(shù)和 ...
1 引言
隨著光通信技術(shù)的迅速發(fā)展，MEMS光開關(guān)由于具有插入損耗和串話小、消光比高、穩(wěn)定性好、透明性和可擴(kuò)展性好、易于集成、偏振不靈敏等優(yōu)點(diǎn)，將成為核心光交換器件的主流。其靜電驅(qū) ...
MEMS即微機(jī)電系統(tǒng)，是利用微米級(jí)立體結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)感應(yīng)和執(zhí)行功能的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。其中，微米級(jí)立體結(jié)構(gòu)是利用被稱為“微加工”的特殊工藝實(shí)現(xiàn)的微米大小的立體機(jī)械結(jié)構(gòu)。
因?yàn)榧夹g(shù)和經(jīng)濟(jì)的原因 ...
