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MEMS文章列表

MEMS芯片與燃料電池實現(xiàn)強(qiáng)大的結(jié)合

可以通過各種燃料進(jìn)行供電的片上燃料電池日前由日本科學(xué)家發(fā)明。據(jù)稱,可通過選擇不同的燃料適應(yīng)筆記本電腦、移動電話等的應(yīng)用。 目前許多研究小組正在努力將常規(guī)燃料電池微型化,但迄今 ...
2009年07月29日 12:00   |  
MEMS   燃料電池  

三星開發(fā)基于MEMS的手機(jī)相機(jī)快門

三星電子公司目前正在開發(fā)一款專用于緊湊型數(shù)碼相機(jī)的MEMS快門,并已在相關(guān)學(xué)術(shù)會議上進(jìn)行過報導(dǎo)。 該MEMS快門為直徑2.2mm的圓形,通過在玻璃基板上成型薄膜實現(xiàn)。即在玻璃基地上采 ...
2009年07月29日 11:40   |  
MEMS   快門   三星   手機(jī)   相機(jī)  

基于DSP的MEMS陀螺儀信號處理平臺的設(shè)計

陀螺儀是一種能夠精確地確定運(yùn)動物體方位的儀器,它是現(xiàn)代航空、航海、航天和國防工業(yè)中廣泛使用的一種慣性導(dǎo)航儀器,它的發(fā)展對一個國家的工業(yè),國防和其他高科技的發(fā)展具有十分重要的戰(zhàn)略意義 ...
2009年07月29日 11:25   |  
dsp   MEMS   陀螺儀   信號處理  

消費(fèi)應(yīng)用將成為MEMS首要市場 封裝技術(shù)亟須完善

  從2007年到2012年,MEMS市場的年復(fù)合增長率將達(dá)到14%。為了滿足市場需求,MEMS企業(yè)和Foundry(晶圓代工廠)都在提高生產(chǎn)制造水平,擴(kuò)大自己的產(chǎn)能。而MEMS的制造也將從現(xiàn)在的5英寸和6英寸線 ...
2009年07月28日 17:11   |  
MEMS   封裝   亟須   技術(shù)   消費(fèi)  

MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制

1 引言   大氣壓力傳感器在工業(yè)生產(chǎn)、氣象預(yù)報、氣候分析、環(huán)境監(jiān)測、航空航天等方面發(fā)揮著不可替代的作用。傳統(tǒng)的壓力傳感器一般為機(jī)械式,體積比較大,不利于微型化和集成化。利用MEMS技 ...
2009年07月28日 16:51   |  
MEMS   電容   硅膜   氣象   壓力傳感器  

MEMS機(jī)油壓力傳感器可靠性研究

1 引言   MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機(jī)電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來的高新技術(shù),用MEMS技術(shù)研制的壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、易于批量生產(chǎn)、成本低的優(yōu) ...
2009年07月28日 15:54   |  
MEMS   機(jī)油   壓力傳感器  

MEMS固態(tài)風(fēng)速風(fēng)向傳感器的設(shè)計與制作

1 引言   風(fēng)速及風(fēng)向的測量是氣象觀測中重要的一環(huán)。風(fēng)速風(fēng)向可以基于流體力學(xué)原理、熱學(xué)原理、聲學(xué)原理和仿生學(xué)原理來測量。熱式測風(fēng)儀基于風(fēng)對熱體的對流作用來測量風(fēng)速和風(fēng)向,其存在一個 ...
2009年07月28日 15:39   |  
MEMS   傳感器   風(fēng)速   風(fēng)向   固態(tài)  

汽車MEMS傳感器應(yīng)用及發(fā)展

一、引言  MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機(jī)電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來的高新科技,其研究開發(fā)主要集中在微傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)三個方面,目前主導(dǎo)MEMS市場的傳感器已形成 ...
2009年07月28日 15:36   |  
MEMS   傳感器   發(fā)展   汽車   應(yīng)用  

MEMS劃片技術(shù)的現(xiàn)狀與技術(shù)革新

MEMS主要包括微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理電路等幾部分,是在融合多種微細(xì)加工技術(shù),并應(yīng)用現(xiàn)代信息技術(shù)的最新成果的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的高科技前沿學(xué)科。MEMS是一種全新的必須同 ...
2009年07月28日 15:06   |  
MEMS  

基于ARM與MEMS器件的微慣性測量裝置設(shè)計

在仿生推進(jìn)機(jī)理的研究中,精確測量魚類尾鰭拍動參數(shù)對于魚類仿生推進(jìn)機(jī)理研究及工程應(yīng)用具有重要的意義;然而,目前研究者大多采用分析高速攝像機(jī)拍攝的圖像獲得參數(shù)的觀測方法。這種方法受到環(huán) ...
2009年07月28日 12:07   |  
arm   MEMS   慣性測量  

顏重光:國內(nèi)MEMS加工工藝仍然存在差距

  作為中國最早做傳感器的專家之一,上海傳感器協(xié)會秘書長顏重光表示如今國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)化仍然不夠成熟,尤其是加工方面與國外存在著較大差距! ☆佒毓庵赋觯琈EMS與機(jī)械類傳感器相比,精度相 ...
2009年07月28日 11:47   |  
MEMS   工藝   加工   顏重光  

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