|
半導體產(chǎn)業(yè)正向著微縮化、高集成度突進，對設備傳動部件精度與穩(wěn)定性要求近乎苛刻。滾珠花鍵以傳遞扭矩、實現(xiàn)高精度直線運動以及承受復雜載荷，廣泛應用于半導體制造設備中。 晶圓搬運機器人：滾珠花鍵用于晶圓搬運機器人的關節(jié)和手臂結(jié)構中，能夠提供高精度的直線運動和定位，確保晶圓在不同設備之間的準確傳輸，減少傳輸過程中的振動和偏差，避免晶圓受損或位置偏移。 工作臺運動系統(tǒng)：光刻機是半導體制造中用于光刻圖案的關鍵設備，其工作臺需要具備極高的定位精度和運動穩(wěn)定性。滾珠花鍵常用于工作臺的 X、Y、Z 軸運動機構中，為工作臺提供精確的直線運動，使晶圓在光刻過程中能夠準確對準光刻圖案，保證芯片圖案的高精度復制。 引線鍵合機：滾珠花鍵用于鍵合機的運動平臺，能夠精確控制鍵合頭的位置和運動軌跡，實現(xiàn)金屬絲在芯片和基板之間的準確鍵合，提高鍵合的質(zhì)量和一致性。 
塑封機：滾珠花鍵在塑封機的模具開合機構和芯片定位機構中發(fā)揮作用，確保模具能夠準確合模，芯片在封裝過程中保持精確的位置，避免封裝缺陷的產(chǎn)生。 電子束檢測設備：滾珠花鍵應用于設備的樣品臺運動系統(tǒng)，能夠精確控制樣品臺的移動，使電子束能夠逐點掃描芯片表面，實現(xiàn)高分辨率的檢測，準確發(fā)現(xiàn)微小的缺陷。 探針臺：滾珠花鍵用于探針臺的探針移動機構和樣品臺調(diào)整機構，保證探針能夠準確對準芯片上的微小測試點，提高測試的準確性和可靠性。 滾珠花鍵正深度融入半導體生產(chǎn)脈絡，以精準傳動之力為產(chǎn)業(yè)突破技術壁壘、提升生產(chǎn)效能保駕護航。未來，它還將隨半導體發(fā)展浪潮持續(xù)進化，續(xù)寫精密制造的傳奇篇章。有其他的疑問或者選購需求歡迎聯(lián)系我們臺灣高技傳動咨詢！ |
