實(shí)驗名稱:基于單端接觸原理的LED外延片無損檢測 實(shí)驗內(nèi)容:基于單注入模式,使用新型檢測系統(tǒng)獲取LED外延片的電學(xué)參數(shù)與光學(xué)參數(shù)。 研究方向:LED外延片檢測 測試設(shè)備:光譜儀、函數(shù)信號發(fā)生器、ATA-2161高壓放大器、顯微鏡及成像系統(tǒng)、示波器、電腦等。 實(shí)驗過程: 圖1:實(shí)驗裝置原理圖 首先對LED外延片進(jìn)行光致發(fā)光(PL)測試,通過光譜儀獲取峰值波長。然后,將測試設(shè)備按圖1所示連接完畢后,將待測LED外延片放置在ITO玻璃上,緩慢下降探針,直至LED外延片產(chǎn)生電致發(fā)光現(xiàn)象。通過光譜儀獲取峰值波長,示波器獲取電學(xué)參數(shù)。最后,使用傳統(tǒng)的電致發(fā)光(針測)對LED外延片進(jìn)行測試。在保證光譜儀軟件顯示的相對強(qiáng)度在一致或接近時,獲取LED外延片的電學(xué)參數(shù)和光學(xué)參數(shù)。實(shí)驗結(jié)果: 圖2:SC-EL所獲得的光學(xué)參數(shù)與針測所獲得的光學(xué)參數(shù) 圖3:SC-EL所獲得的光學(xué)參數(shù)與針測所獲得的光學(xué)參數(shù) 由于針測獲得的數(shù)據(jù)最具有可靠性,因此將其作為標(biāo)準(zhǔn)值來比較PL測試與單端接觸電致發(fā)光(SC-EL)測試所獲得數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。實(shí)驗結(jié)果表明,SC-EL所獲得的光學(xué)參數(shù)與針測所獲得的光學(xué)參數(shù)更加接近并且不會對LED外延片造成機(jī)械性損傷(如圖2、圖3所示)。此外,SC-EL所獲取的電學(xué)參數(shù)與針測所獲取的電學(xué)參數(shù)(反向漏電流)具有同樣的趨勢,可以反映針測所獲取數(shù)據(jù)的水平(如圖4所示)。 圖4:針測所獲取數(shù)據(jù)的水平 高壓放大器推薦:ATA-2161 圖:ATA-2161高壓放大器指標(biāo)參數(shù) 本資料由Aigtek安泰電子整理發(fā)布,更多案例及產(chǎn)品詳情請持續(xù)關(guān)注我們。西安安泰電子Aigtek已經(jīng)成為在業(yè)界擁有廣泛產(chǎn)品線,且具有相當(dāng)規(guī)模的儀器設(shè)備供應(yīng)商,樣機(jī)都支持免費(fèi)試用。 |