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摘要：設(shè)計(jì)了一種應(yīng)用于掃描電鏡的四自由度并聯(lián)定位平臺(tái)。該平臺(tái)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于集成微操作裝置和實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)物性在線檢測(cè)。為使所設(shè)計(jì)的定位平臺(tái)具有高的定位精度，建立了平臺(tái)的誤差矢量模型。通過模擬仿真手段分析了結(jié)構(gòu)誤差和上平臺(tái)分支分布對(duì)平臺(tái)末端定位精度的影響，分析了在大載荷作用下機(jī)構(gòu)在非自由度方向產(chǎn)生的角位移輸出。 下載全文 
并聯(lián)式四角自由度定位平臺(tái)誤差分析.pdf
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