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并聯(lián)式四角自由度定位平臺誤差分析

發(fā)布時間：2010-2-28 10:17 發(fā)布者：蹦蹦

摘要：設計了一種應用于掃描電鏡的四自由度并聯(lián)定位平臺。該平臺結構簡單，便于集成微操作裝置和實現(xiàn)微結構物性在線檢測。為使所設計的定位平臺具有高的定位精度，建立了平臺的誤差矢量模型。通過模擬仿真手段分析了結構誤差和上平臺分支分布對平臺末端定位精度的影響，分析了在大載荷作用下機構在非自由度方向產生的角位移輸出。

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并聯(lián)式四角自由度定位平臺誤差分析.pdf (656.98 KB)

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