臺階儀是一種常見的工業(yè)測量儀器，廣泛應用于大學、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域。它能完成對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。
工作原理 當觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。 CP200臺階儀采用線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13um量程下可達0.01埃，具有良好的測量精度及重復性。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。可以測量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等，沒有特別的要求，樣品適應面廣，數(shù)據(jù)復現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效，是微觀表面測量中使用廣泛的微納樣品測量手段。 典型應用 1、半導體應用 (1)沉積薄膜的臺階高度 (2)抗蝕劑（軟膜材料）的臺階高度 (3)蝕刻速率測定 (4)化學機械拋光（腐蝕、凹陷、彎曲) 2、大型基板應用 (1)印刷電路板（突起、臺階高度） (2)窗口涂層 (3)晶片掩模 (4)晶片卡盤涂料 (5)拋光板 3、玻璃基板及顯示器應用 (1)AMOLED (2)液晶屏研發(fā)的臺階步級高度測量 (3)觸控面板薄膜厚度測量 (4)太陽能涂層薄膜測量 4、柔性電子器件薄膜應用 (1)有機光電探測器 (2)印于薄膜和玻璃上的有機薄膜 (3)觸摸屏銅跡線 |
