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來源：化合物半導體市場 近日，中國科學院深圳先進技術研究院（下文簡稱“深圳先進院”）光子信息與能源材料研究中心（下文簡稱“研究中心”）與深圳市納設智能裝備有限公司（下文簡稱“納設智能”）成立了先進材料聯(lián)合實驗室，推進產(chǎn)學研深度融合。 資料顯示，上述研究中心成立于2008年，專注于高性能多元化合物半導體材料的前沿技術研究，在光電傳感半導體材料制造方面取得了一系列成就。 納設智能則成立于2018年10月，致力于第三代半導體碳化硅外延設備、石墨烯等先進材料制造裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和應用推廣。該公司自有第三代半導體碳化硅高溫化學氣相沉積外延設備，是中國首臺完全自主創(chuàng)新的碳化硅外延設備。 研究中心專注于先進材料的應用研究，納設智能在先進材料的設備制造方面頗有心得，二者一拍即合。 目前雙方除了著重于工藝和設備的合作外，聯(lián)合實驗室還將對其他半導體先進材料進行研究，如氮化鋁、氮化鎵、石墨烯等先進材料生長設備及工藝。雙方的合作將進一步提高研發(fā)效率，縮短研發(fā)周期，推動先進材料領域的技術創(chuàng)新。 |
