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美國(guó)惠普（Hewlett-Packard）開(kāi)發(fā)出了靈敏度比市售量產(chǎn)產(chǎn)品高1000倍的MEMS加速度傳感器。該傳感器技術(shù)可用于監(jiān)視橋梁等建筑物、進(jìn)行健康監(jiān)測(cè)、發(fā)現(xiàn)礦物和油井等以及進(jìn)行地震監(jiān)控。 此次的傳感器技術(shù)采用了在惠普實(shí)驗(yàn)室（HP Labs）研究出來(lái)的微流體技術(shù)。這是一種控制微量液體的流量和噴出等的技術(shù)。已用于打印頭和生物芯片等產(chǎn)品中。此次，該公司證實(shí)該技術(shù)可用于檢測(cè)加速度，而且除了可提高靈敏度外，還能降低功耗。噪聲密度為100ng/√Hz，是量產(chǎn)產(chǎn)品的1/1000級(jí)，因此可開(kāi)發(fā)出高靈敏度和高分辨率的加速度傳感器。除單軸產(chǎn)品外，還可開(kāi)發(fā)出雙軸等多軸產(chǎn)品。 惠普開(kāi)發(fā)加速度傳感器是為了用于實(shí)時(shí)傳感用戶(hù)和計(jì)算機(jī)等周?chē)h(huán)境的時(shí)代。如果能夠分散安裝大量傳感器，便可將此前沒(méi)能放入計(jì)算機(jī)中的各種信息數(shù)字化后加以利用，正確且迅速的決策和控制將成為可能。 |
