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幾種粗糙度測量方案

發(fā)布時(shí)間:2022-12-2 16:30    發(fā)布者:szzhongtu5
關(guān)鍵詞: 粗糙度 , 測量
表面粗糙度您了解多少?表面粗糙度,是指加工表面具有的較小間距和微小峰谷不平度,其兩波峰或兩波谷之間的距離(波距)很。ㄔ1mm以下),它屬于微觀幾何形狀誤差。表面粗糙度越小,則表面越光滑。


表面粗糙度的評定方法
1.二維粗糙度評定
在常規(guī)工業(yè)加工領(lǐng)域中,Ra是常用的表面粗糙度評定參數(shù),其定義為在取樣長度L內(nèi),輪廓偏距的絕對值的算術(shù)平均值。

2.三維粗糙度評定
隨著工業(yè)制造越來越精密化,特別是半導(dǎo)體和3C電子行業(yè),傳統(tǒng)的粗糙度評定為二維參數(shù)評定,評定的時(shí)候在一條線上進(jìn)行評定,不能夠完整地反映整個(gè)表面的全部信息,無法滿足行業(yè)發(fā)展需求。

表面形貌的三維評定方法是利用區(qū)域表面獲得所需要的相關(guān)信息,給出表面形成機(jī)理信息和研究表面的直觀圖像,三維評定從整體上對零件表面特征進(jìn)行描述,具有全局性。Sa為常用的三維表面粗糙度評定參數(shù)。

Sa為表面算術(shù)平均高度,指輪廓表面內(nèi)的點(diǎn)與中心面距離的算術(shù)平均或幾何平均值,在取樣區(qū)域D上,被測量的輪廓面和建立的基準(zhǔn)面之間的z坐標(biāo)距離的算術(shù)平均,即表面粗糙度曲面方程z坐標(biāo)絕對值的算術(shù)平均,數(shù)學(xué)表達(dá)式如下。


表面粗糙度測量方案
中圖儀器擁有豐富多樣的粗糙度測量解決方案,可滿足各行業(yè)測量需求。
1.SJ5760-R大量程粗糙度測量儀
SJ5760-R大量程粗糙度測量儀Z0軸行程±20μm~±400μm,粗糙度測量范圍Ra0.1μm~Ra64μm,可進(jìn)行R參數(shù)、P參數(shù)、W參數(shù)、Motif參數(shù)等多種參數(shù)評定,應(yīng)用非常廣泛。
SJ5760-R用于軸承鋼球的表面粗糙度測量

2.SJ5730高精度粗糙度輪廓測量儀
SJ5730高精度粗糙度輪廓測量儀一次測量可同時(shí)評定粗糙度及輪廓參數(shù),具有14mm大量程粗糙度測量范圍,分辨率高達(dá)到次納米級,系統(tǒng)殘余誤差極。<2nm),非常適合測量大曲面(軸承、關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片、非球面)的超高精度表面粗糙度及微觀Pt輪廓。
SJ5730用于圓錐滾子軸承表面微觀輪廓Pt及粗糙度測量

3.SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀
SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀,以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造等領(lǐng)域,可測從納米到微米級別工件的粗糙度。
硅晶圓粗糙度測量
藍(lán)寶石粗糙度測量


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