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某一維線性尺度遠遠小于它的其他二維尺度的材料成為薄膜材料，理論上薄膜材料厚度介于單原子到幾毫米，但由于厚度小于100nm的薄膜已經(jīng)被稱為二維材料，因此薄膜材料通常指厚度介于微米到毫米的薄金屬或有機物層。 薄膜材料：薄膜材料可以分為非電子薄膜材料和電子薄膜材料，非電子薄膜材料需要對其電學特性進行分析，不是本方案針對的對象。電子薄膜又可以分為導電薄膜，介質薄膜，半導體薄膜，電阻薄膜，磁性薄膜，壓電薄膜，光電薄膜，熱電薄膜，超導薄膜等，表面電阻率是電子薄膜電學性質的重要參數(shù)。 一．電子薄膜材料表面電阻測試：表面電阻率測試常用方法是四探針法和范德堡法，但對電子薄膜材料，范德堡法很少應用。多數(shù)情況下，電子薄膜材料電阻率測試對測試儀器的要求沒有二維材料/石墨烯材料高，用源表加探針臺即可手動或編寫軟件自動完成測試。 二．電子薄膜材料電阻率測試面臨的挑戰(zhàn)： 1）電子薄膜種類多，電阻率特性不同（ 需選擇適合的SMU進行測試） 2）被測樣品形狀復雜，需選擇適當?shù)男拚齾?shù)（厚度修正系數(shù)對測試結果的影響F（W/S）原片直徑修正系數(shù)對測試結果的影響溫度修正系數(shù)對測試結果的影響） 3）環(huán)境對測試結果有影響（利用電流換向測試消除熱電勢誤差） 4）利用多次平均提高測試精度（需考慮測試成本） 三．吉時利電子薄膜材料測試方案： 1）通用配置 a.吉時利源表2450/2460/2461 b.四探針臺（間距1mm） c.測試軟件（安泰測試系統(tǒng)集成可開發(fā)） 2）高阻電子薄膜材料測試方案 a.6221/2182A+6514X2+2000DMM b.第三方探針臺 c.手動或軟件編程 四．方案優(yōu)勢： 1、不同配置滿足不同電子薄膜材料電阻率測試需求； 2、高精度源表，即可手動測試，也可以編程自動測試； 3、高性價比。 吉時利源表作為電學測量的常用儀器，在高校和研究所的相關實驗室內(nèi)幾乎都能看到，源表集多表合一、配上專業(yè)軟件可以實現(xiàn)各種定制測量，使用非常廣泛。 安泰測試作為泰克吉時利長期合作伙伴，專業(yè)提供設備選型和測試方案的提供，為多家企業(yè)和院校提供吉時利源表現(xiàn)場演示，并獲得客戶的高度認可，如果您想了解吉時利源表更多應用方案，歡迎訪問安泰測試官網(wǎng)。 |
