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關(guān)鍵索引詞： MEMS 微機(jī)電系統(tǒng) 高壓放大器 MEMS傳感器 MEMS 光學(xué)掃描儀 微機(jī)械陀螺儀 MEMS簡(jiǎn)介： 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等，是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。 微機(jī)電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號(hào)處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項(xiàng)革命性的新技術(shù)，廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，是一項(xiàng)關(guān)系到國(guó)家的科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)繁榮和國(guó)防安全的關(guān)鍵技術(shù)。 MEMS側(cè)重于超精密機(jī)械加工，涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機(jī)械學(xué)的各分支。 MEMS是一個(gè)獨(dú)立的智能系統(tǒng)，可大批量生產(chǎn)，其系統(tǒng)尺寸在幾毫米乃至更小，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級(jí)。常見(jiàn)的產(chǎn)品包括MEMS加速度計(jì)、MEMS麥克風(fēng)、微馬達(dá)、微泵、微振子、MEMS光學(xué)傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。 MEMS光柵應(yīng)用測(cè)試： MEMS光柵采用了硅微加工工藝技術(shù)，在外力作用下使光柵的某些特征參數(shù)（如周期、光柵等常數(shù)）發(fā)生改變，從而實(shí)時(shí)改變光柵的工作性能，實(shí)現(xiàn)光柵的可編程應(yīng)用�；谄洫�(dú)特的優(yōu)勢(shì)，MEMS光柵已經(jīng)用于光通信、高清顯示設(shè)備、光譜分析等領(lǐng)域。MEMS光柵具有多種驅(qū)動(dòng)方式，而靜電驅(qū)動(dòng)的 MEMS光柵， 由于其工藝易于實(shí)現(xiàn)、耗能低、頻率響應(yīng)高，因此是最常用的驅(qū)動(dòng)方式。著名的光柵光閥（GLV）和氣體探測(cè)器（Polychromix） 都是采用靜電驅(qū)動(dòng)的。 靜電驅(qū)動(dòng)的可編程光柵還存在某些不足。靜電驅(qū)動(dòng)的能量密度較小，當(dāng)結(jié)構(gòu)需要比較大的工作 位移（微米級(jí)），就必須增大驅(qū)動(dòng)電壓，驅(qū)動(dòng)電壓甚 至達(dá)到上百伏。當(dāng)結(jié)構(gòu)受靜電力作用，由于機(jī)械結(jié)構(gòu)特有的慣性而產(chǎn)生彈性振蕩，增大系統(tǒng)延遲。實(shí)際工作時(shí)，光柵等效電容會(huì)隨光柵梁位移的改變而變化，導(dǎo)致驅(qū)動(dòng)電路容性負(fù)載的變化。這些都為設(shè)計(jì)驅(qū)動(dòng)電路帶來(lái)困難。 因此，MEMS光柵的工作性能很大程度上依賴于高壓放大器的性能。 MEMS測(cè)試功率放大器： 西安安泰電子科技有限公司生產(chǎn)的ATA-2000系列高壓放大器提供了DC-1.5MHz的帶寬，170Vpp~1600Vpp的輸出電壓范圍，40mA~500mA的電流輸出能力，是新型的MEMS相關(guān)應(yīng)用的動(dòng)態(tài)驅(qū)動(dòng)研發(fā)測(cè)試的理想選擇。 ATA-2000系列高壓放大器，可以輸出理想的單端及差分信號(hào)，為MEMS領(lǐng)域的研究提供了快捷的工具。同時(shí)該系列功率放大器，設(shè)計(jì)了良好的過(guò)壓，過(guò)流，短路保護(hù)裝置，同時(shí)為了更好的為MEMS測(cè)試客戶應(yīng)用，提供的完善的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，方便用戶選擇對(duì)應(yīng)的匹配阻抗。 |
