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來源：myDrivers 中國集成電路制造年會(huì)近日邀請到了光刻機(jī)霸主ASML（阿斯麥）中國區(qū)總裁沈波參加，他出面解答了一些媒體關(guān)心的話題。 盡管UMC（聯(lián)電）和Globalfoundries（格芯）先后宣布放棄7nm制程及更先進(jìn)工藝的研發(fā)，但ASML依然對EUV光刻機(jī)的前景表示樂觀。 此前有消息指出，中芯國際（SMIC）今年已向ASML訂購了一臺(tái)EUV光刻機(jī)，預(yù)計(jì)明年交付，用于7nm節(jié)點(diǎn)。 同時(shí)，傳統(tǒng)的沉浸式光刻機(jī)方面，沈波稱，今年下半年ASML已開始出貨家族最先進(jìn)的NXT:2000i，很快會(huì)在中國市場上也見到。 另外，媒體早先有報(bào)道稱，長江存儲(chǔ)、上海華虹半導(dǎo)體分別向ASML訂購了193納米浸沒式光刻機(jī)和193納米雙工件臺(tái)沉浸式光刻機(jī)NXT:1980Di，分別用于存儲(chǔ)芯片制造、晶圓代工。 據(jù)悉，ASML今年第一季度和第二季度的財(cái)報(bào)顯示，大陸市場的銷售收入占比達(dá)到了20%左右，已與美國持平，且超過了臺(tái)灣地區(qū)。 ASML今年的EUV光刻機(jī)產(chǎn)能將達(dá)到20臺(tái)，明后兩年將逐步提升到40臺(tái)。 |
