MEMS Analysis Tool 3D動(dòng)態(tài)實(shí)時(shí)分析工具
發(fā)布時(shí)間：2017-11-16 14:51
發(fā)布者：
lynceetec
| MEMS Analysis Tool MEMS Analysis Tool是一個(gè)后分析軟件。它提供了量化和精確的3D空間和頻率分析，時(shí)間序列的形貌圖(4D)，通過DHM®同時(shí)拍攝面內(nèi)和離面運(yùn)動(dòng)，離面運(yùn)動(dòng)精度達(dá)到MEMS激光測(cè)振儀精度，面內(nèi)運(yùn)動(dòng)精度則遠(yuǎn)超MEMS測(cè)振儀精度，達(dá)到了1nm。
MEMS Analysis Tool是基于DHM數(shù)字全息顯微鏡一款軟件，數(shù)字全息顯微鏡DHM基于菲涅爾衍射的重建算法，僅需0.001秒采集單張全息圖即可得到實(shí)時(shí)3D形貌信息，無需掃描，在MEMS的設(shè)計(jì)與研究中有著獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。此外，在形貌檢測(cè)、形變測(cè)量、實(shí)時(shí)大面積形貌監(jiān)測(cè)等也有廣泛應(yīng)用。 ![]() ![]() 下載 (104.52 KB)
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測(cè)量任何MEMS參數(shù) 模式的形狀 振動(dòng)圖：振幅與相位 位移，速度和加速度 沿著任何方向 在視野里的任何地方 對(duì)于任何結(jié)構(gòu) 頻率響應(yīng) 電響應(yīng) | 圖1、面內(nèi)和離面運(yùn)動(dòng)同時(shí)記錄
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[img=232,175][/img]仿真比較和測(cè)量 在任何時(shí)間任何地方，分析您的數(shù)據(jù) 導(dǎo)出數(shù)據(jù)以開放格式進(jìn)行高級(jí)分析 定義您自己的分析模板，以比較有效的樣本批次 高效宣傳您的工作 測(cè)量您以前不能測(cè)量的樣本 用視頻演示出版物和會(huì)議演示 面內(nèi)--離面運(yùn)動(dòng)分析在平面--離面分析中的高級(jí)算法 MEMS分析工具包含了強(qiáng)大的算法，可以分析MEMS的三維時(shí)間序列圖在面內(nèi)和離面的位移。 研究微小振動(dòng) 邊緣跟蹤，傅里葉和子像素算法 平面內(nèi)低至納米 平面外低至皮米 對(duì)于大位移 模型跟蹤算法 在平面內(nèi)大到毫米量級(jí) 離面達(dá)到數(shù)十微米 復(fù)雜運(yùn)動(dòng)和幾何圖形的表征 板傾斜 旋轉(zhuǎn) 移動(dòng)部件有孔和結(jié)構(gòu) 鏈接到出版物 ![]() ![]() 下載 (337.31 KB)
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頻域分析一個(gè)完整的頻率響應(yīng)分析工具箱 頻率響應(yīng)是MEMS中最重要的特性之一。MEMS分析工具提供了在時(shí)域和頻域之間切換的幾種方法。這種分析可以應(yīng)用于平面位移和非平面位移，也可以應(yīng)用于頻閃觀測(cè)模塊的電氣記錄。 波德分析 波德相位和振幅的關(guān)系圖
Q 因子
傅里葉分析 從時(shí)域到頻域的傅里葉變換 從頻域到時(shí)域的傅里葉濾波 諧波分析 基本的，第二，第三和第四諧波振幅 應(yīng)用實(shí)例：MEMS麥克風(fēng)和揚(yáng)聲器 模態(tài)分析模式形狀，與模擬仿真有效的比較 MEMS分析工具可以對(duì)4D地形和模式形狀序列進(jìn)行可視化分析。當(dāng)振動(dòng)的振幅比結(jié)構(gòu)尺寸小得多，并且與模擬結(jié)果進(jìn)行有效的比較時(shí)，這種第二表示非常有用。 4D陣列分析獨(dú)特的4 d分析工具 MEMS工具包括有效的工具，支持動(dòng)態(tài)4D數(shù)據(jù)分析。輪廓切割，網(wǎng)格是其他獨(dú)特的工具，它將給你的設(shè)備帶來新的見解，革新他們的發(fā)展。數(shù)據(jù)可以作為文本文件或視頻圖像序列導(dǎo)出。 “array”工具，用于多設(shè)備分析 結(jié)構(gòu)陣列的快速分析 個(gè)人設(shè)備之間的交叉對(duì)話 適用于大型設(shè)備的配合 快速分析：無需在測(cè)量前定義一個(gè)網(wǎng)格! “Dynamic profile cut”工具幾乎是無限的積分 膜破裂電壓的測(cè)定 多倍器件偏轉(zhuǎn)的定量比較 |
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