MEMS器件的計算機輔助設(shè)計與模擬

發(fā)布時間：2011-1-11 22:18 發(fā)布者：看門狗

關(guān)鍵詞： MEMS

本文論述了微電子機械系統(tǒng)的計算機輔助設(shè)計和模擬過程,分析了MEMS CAD 系統(tǒng)所應(yīng)具有的主要內(nèi)容和系統(tǒng)模擬中的關(guān)鍵問題,討論了目前經(jīng)常采用的各種模擬系統(tǒng)的模擬形式和應(yīng)用范圍。并結(jié)合靜電微馬達與微米P納米鑷子實例,分析了模塊化的CAD 軟件結(jié)構(gòu)形式以及所用MEMS 材料的數(shù)據(jù)庫建立和應(yīng)用連接,所提出并采用的開發(fā)方式適用于微傳感器及微執(zhí)行器等微系統(tǒng)器件的設(shè)計與模擬。

MEMS器件的計算機輔助設(shè)計與模擬.pdf (552.36 KB)

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