一、引言隨著半導(dǎo)體工藝的不斷發(fā)展,MOSFET的尺寸不斷縮小,柵極漏電流成為影響器件性能的重要因素。柵極漏電流不僅增加電路功耗,還可能引入噪聲,影響信號完整性。因此,準(zhǔn)確測量柵極漏電流及其噪聲特性對器件研發(fā) ...